智通财经APP获悉,1月19日,深圳中科飞测科技股份有限公司(简称“中科飞测”)申请科创板IPO审核状态变更为“已问询”。国泰君安证券为其保荐机构,拟募资10亿元。
招股书显示,中科飞测是一家国内领先的高端半导体质量控制设备公司,自成立以来始终专注于检测和量测两大类集成电路专用设备的研发、生产和销售,产品主要包括无图形晶圆缺陷检测设备系列、图形晶圆缺陷检测设备系列、三维形貌量测设备系列、薄膜膜厚量测设备系列等产品,已应用于国内28nm及以上制程的集成电路制造产线。