华泰证券：AMHS已成为晶圆厂必备生产设备 建议关注行业国产化机遇

智通财经APP获悉，华泰证券发布研报称，AMHS在晶圆生产过程中主要起到搬运物料、减少人力成本的作用，现已成为晶圆厂必备的生产设备。受下游行业渗透驱动，预计2025年，全球AMHS市场规模达37亿美元，中国AMHS市场规模达11亿美元。近年来，国内半导体设备受市场竞争影响，交付的不确定性加大，交付周期延长，同时国外AMHS设备价格高昂，多种因素共同为国内AMHS的发展带来机会。目前国内AMHS厂商已在多个项目开始试点以及量产，建议关注AMHS行业国产化机遇。

AMHS已成为晶圆厂的必备设备

AMHS为自动物料搬送系统，能快速准确的按照工艺流程在生产设备之间搬送装载晶圆的载具，是半导体产业链中极其关键的环节。半导体行业呈现出晶圆不断扩大的趋势，晶圆从最初的100mm逐渐发展到如今的300mm，晶圆的重量不断增加，人力搬运逐渐无法满足生产过程中的搬运需求，AMHS应运而生。AMHS可以快速准确地将晶圆搬送到目的地，能够大幅提高效率，减少人工成本，增加产能，提升稳定性，逐渐成为满足半导体的细微化及液晶显示器的精细化加工要求的关键搬送设备。

AMHS市场规模持续增长

AMHS下游应用场景丰富，除半导体制造行业外，AMHS在先进封装、化合物半导体与面板行业的渗透率也在不断上升。同时，AMHS从开始的只具有简单搬运功能逐渐向智能一体化控制化迭代，价值量不断提升，带动AMHS行业整体的市场规模不断增长。根据SEMI数据，2022年全球AMHS系统的市场规模约为32亿美金，AMHS系统约占半导体设备投资的比例约为3%，由此推算，中国市场约为10亿美金。华泰证券预计2025年，全球AMHS市场规模达37亿美元，中国AMHS市场规模达11亿美元。

客户资源与技术为AMHS行业主要竞争壁垒

客户资源是AMHS行业最重要的竞争壁垒。AMHS作为整个晶圆厂的核心枢纽，一旦发生重大故障，将带来巨大的经济损失，因此晶圆厂倾向于选择有实际案例验证的厂商。同时，AMHS也有较高技术壁垒，单个OHT天车的硬件就包含了2000个零部件，机械结构复杂，在材料和零部件选型、结构设计、轨道设计等方面都具备高要求。AMHS的调度控制不仅需要具备底层软件能力，还需要有丰富的晶圆厂自动化经验。根据SEMI的数据，目前AMHS行业主要被日本大福与村田两家公司垄断，合计占全球90%以上市场份额。

技术受限背景下，AMHS国产化有望加速

近年来，国内半导体设备市场竞争影响，交付的不确定性加大，交付周期延长。AMHS单套系统价值量极高，单套产线最高超过2亿美金，且售后维护与服务费用较高。AMHS软件抓取的数据涉及核心的商业秘密、技术工艺秘密和数据安全。多种因素共同为国内AMHS的发展提供了机会。

近年来国内厂商在AMHS领域开始逐步单点突破，以华芯智能为代表的多家厂商在不同细分市场取得了国内晶圆厂的技术评估、Demo测试机会，目前AMHS国产化率为5%左右。华泰证券认为，在国产替代趋势的影响下，国内AMHS系统有望迎来发展机遇。

风险提示：宏观经济波动、下游需求不及预期。本报告内容均基于客观信息整理，不构成投资建议。