上海新阳(300236.SZ):芯刻微购得一台ASML XT 1900Gi型光刻机

上海新阳(300236.SZ)公告,近日由公司参股公司芯刻微公司(公司持有芯刻微3...

智通财经APP讯,上海新阳(300236.SZ)公告,近日由公司参股公司芯刻微公司(公司持有芯刻微38%的股权)委托盛吉盛(宁波)半导体材料有限公司(简称“盛吉盛”)代理投标,成功中标,购得ASML XT 1900Gi型二手光刻机一台,该设备可用于研发分辨率达28nm的高端光刻胶。

3月11日,芯刻微公司向盛吉盛支付10%首期货款购入该光刻机,剩余90%六个月内付清。后续公司将启动设备的运输及相关安装调试等工作。

公司称,通过子公司芯刻微开展的ArF湿法光刻胶项目研发也已引进了核心技术专家团队,为ArF湿法光刻胶项目的开发提供了技术保障,现公司采购的ASML浸没式光刻机设备是对公司ArF湿法光刻胶技术先进性的设备保障,对加快公司集成电路制造用光刻胶产品研发项目进度有积极影响,有利于进一步提升公司光刻胶产品的核心竞争力,加速落实公司发展战略,提高公司抗风险能力和可持续发展能力。

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