智通财经APP获悉,9月10日,北京华卓精科科技股份有限公司(简称“华卓精科”)申请科创板IPO审核状态变更为“已问询”。东兴证券为其保荐机构,拟募资7.35亿元。
华卓精科主营业务为集成电路制造装备及关键零部件的研发和产业化。目前产品包括光刻机双工件台及其衍生产品超精密运动平台、激光退火设备、晶圆键合设备、晶圆传输系统、主被动隔振器、静电卡盘、精密测量系统等整机设备及半导体关键零部件,主要应用于集成电路芯片制造、先进封装、功率器件制造等产线,并在电子制造、激光加工等高端技术领域实现广泛应用。