光大证券：首予至纯科技(603690.SH)“买入”评级 半导体高纯工艺或平稳增长

智通财经APP获悉，光大证券发布研究报告，首予至纯科技(603690.SH)“买入”评级，预测2021-23年归母净利为3.47/3.81/5.55亿元，当前市值对应的PE为51/46/32x。

光大证券主要观点如下：

至纯科技是中国半导体清洗设备龙头企业。

公司的主营业务主要包括半导体湿法清洗设备、高纯工艺系统、光传感应用及相关光学元器件的研发、生产和销售。至纯科技半导体湿法清洗设备控股子公司至微科技拟通过增资扩股引入战略投资者并进行部分股权转让，交易完成后，战略投资者持有至微科技的比例约22%，增资方包括大基金二期、混改基金、中芯聚源、装备材料基金、芯鑫鼎橡、远致星火等。公司2021年前三季度实现营业收入12.83亿元，同比增长68.71%;实现归母净利润1.88亿元，同比增长127.96%。

中国半导体清洗设备市占率极低，国产替代空间巨大。

2024年预计全球半导体清洗设备市场销售额达31.93亿美元，清洗设备在全球半导体设备的市场销售额占比约为5-7%。2020年全球半导体清洗设备市场基本上被日本SREEN、日本TEL、韩国SEMES和美国LAM垄断，市场销售额合计占比97.7%，国产厂商至纯科技、盛美中国、北方华创、芯源微等份额较低。

半导体湿法清洗设备业务步入高速成长期。

至纯科技提供湿法设备，包含湿法槽式清洗设备及湿法单片式清洗设备。该类设备可以应用在先进工艺上，主要为存储(DRAM，3DFlash)、先进逻辑产品等。目前至纯科技是国内能提供到28纳米节点全部湿法工艺的本土供应商。

目前公司湿法设备客户包括中芯国际、华虹集团、长鑫存储、华为、华润、燕东、力晶等。2021年上半年，至纯的湿法设备业务新增订单达4.3亿元，其中单片设备2亿元。湿法清洗设备业务20年收入为2.2亿元，该行预计21-22年收入为7.68亿元和13.90亿元。

半导体高纯工艺系统将保持平稳增长。

泛半导体工艺伴随许多种特殊制程，会使用到大量超高纯(ppt级别)的干湿化学品，这是完成工艺成果的重要介质，其特点是昂贵并伴随废气液排放。在集成电路领域，高纯工艺系统主要包括高纯特气系统、大宗气体系统、高纯化学品系统、研磨液供应及回收系统、前驱体工艺介质系统等。

其中，各类高纯气体系统主要服务于几大干法工艺设备，各类高纯化学品主要服务于湿法工艺设备。目前公司高纯工艺系统客户包括中芯国际、华虹华力、华润、士兰微、长江存储、长鑫存储、海力士，三星，台积电，力晶等。

盈利预测、估值与评级：至纯科技是国内高纯工艺系统的龙头，目前湿法设备进展顺利，有望成为国内高端湿法设备的领先者，随着公司一线客户的不断扩张以及下游需求的持续增长，公司有望迎来快速发展。

风险提示：国产化进度不及预期，晶圆厂扩张不及预期，技术研发不及预期。