芯源微(688037.SH)将于12月17日召开浸没式高产能涂胶显影机新品发布会

智通财经APP讯，芯源微(688037.SH)发布公告，在公司成立满二十周年之际，公司定于2022年12月17日上午10:30召开浸没式高产能涂胶显影机新品发布会，届时将通过上证报路演平台对全市场发布。

本次发布的产品为公司最新的前道浸没式高产能涂胶显影机。该机型采用公司独创的对称分布高产能架构，满配36Spin处理单元，搭载公司自主研发的双向同步取放机械手，可大幅提升整机的机械传送产能和传送精度，能够匹配全球主流光刻机联机生产。该款机型通过选配可全面覆盖I-line、KrF、ArFdry、ArF浸没式等多种光刻技术，也适用包括SOC、SOH、SOD等在内的其他旋涂类应用。为应对未来光刻机产能的不断提升，该机型还可扩充至更多处理单元，同时实现在低占地面积下兼顾机台易维护性，有效提升机台维护效率。