凯美特气(002549.SZ)子公司光刻气产品获得ASML子公司Cymer公司合格供应商认证函

智通财经APP讯，凯美特气(002549.SZ)发布公告，公司控股子公司岳阳凯美特电子特种稀有气体有限公司(以下简称“凯美特电子特种气体公司”)于2023年2月2日收到ASML子公司Cymer公司发来的合格供应商认证函，凯美特电子特种气体公司生产的光刻气产品通过了Cymer公司审查，Cymer公司已将凯美特电子特种气体公司光刻气产品列入合格供应商名单。

ASML子公司Cymer是世界领先的准分子激光源提供商，是深紫外技术的行业领导者，是ASML集团内一家独立运营的企业。Cymer公司发明了如今半导体制造中最关键的光刻技术所需的深紫外(DUV)光源，开发、制造和服务深紫外(DUV)光源。产品组合包括使用氟化氩(ArF)或氟化氪(KrF)气体产生深紫外光的准分子激光器。产品主要特性是：带宽窄，运行速度高，可靠性强。Cymer光源在批量生产符合特定规格的世上最先进的半导体芯片时起着决定性的作用。